- Khoảng đo:
+ Ra: 0.050-10.00um/1.000-400.0uinch
+ Rz: 0.020-100.0um/0.780-4000uinch
- Độ chính xác: ≤ ± 10%
- Biến động của màn hình hiển thị giá trị: Không quá 6%
- Cảm biến:
+ Nguyên tắckiểm tra : cảm biến cao tinh vi
+ Bán kính của đầu dò: 5um
+ Chất liệu của đầu dò: Kim Cương
+ Đầu dò kim cương: 4mN(0.4gf)
+ Góc nhìn đầu dò: 90 °
+ Bán kính thẳng đứng của đầu dẫn chính: 48mm
- Đòn dẫn tối đa: 17.5mm/0.7inch
- Chiều dài cắt (l): 0.25mm / 0.8mm / 2.5mm tùy chọn
- Chiều dài đánh giá: 5l
- Tốc độ dẫn:
+ Chiều dài lấy mẫu = 0.25mm VT = 0.135mm / s
+ Chiều dài lấy mẫu = 0.8mm VT = 0.5mm / s
+ Chiều dài lấy mẫu = 2,5 mm VT = 1mm / s
+ Trở về VT = 1mm / s
- Hồ sơ kỹ thuật số bộ lọc: 
+ Lọc hồ sơ: RC
+ Lọc hồ sơ: PC-RC
+ Lọc hồ sơ: Gauss
+ Không lọc hồ sơ: DP
- Độ phân giải: 0.001μm nếu đọc < 10μm
0.01μm nếu 10μm ≤ đọc <100μm
0.1μm nếu đọc ≥ 100μm